美國 Entegris 應特格 純化器 GPUS2500FHX08R00CA 原裝現貨
Entegris 的 GateKeeper® GPU 氣體純化器旨在提高對高純度氣體要求*高的微電子應用中的純度一致性、使用壽命和最終純度。
利用我們在材料科學方面的專業知識，我們開發出了新一代 YX 氣體凈化產品，具有無**比的價值和性能。
應用
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- 半導體
- 數據存儲
- 平板顯示器
- 發光二極管
- 太陽能
特點和優勢
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過程控制和保護 純度控制在低于十億分之一 (ppb) 的水平
通過凈化器的壓降低
通過壓力設備指令 (PED) 的 CE 認證
在 ISO® 9001:2015 工廠制造
成本效益高 可再生資源 - 消除了處理問題和成本
使用壽命長 - 降低擁有成本
使用安全簡單 使用環境溫度凈化 - 無需加熱或供電
無需加熱或供電
對方向（水平/垂直）不敏感
凈化氣體 NH3、C2H4、GeH4、CSiH6
C2H7N、C3H6、SF6、H2/SiH4 混合物
C2H8N2、CH3SiH3、SiH4、
去除雜質 出口純度
H2O <1 ppb
O2 <1 ppb
CO2 <1 ppb
有機物 >C4 <1 ppb
金屬 <1 ppb
出口顆粒過濾器 Wafergard® - 316 不銹鋼膜，20 μm 或 0.0015 μm
使用壽命 在入口濕度為 0.5 ppm 的情況下，使用壽命為一年。
如下頁所示。
壽命隨入口雜質和流速而變化。
有關具體應用的壽命計算，請聯系 Entegris。
可再生 是
(如果工藝氣體為 SF6，則不建議再生）
危險品 (DG) 是，UN2881，4.2 類
工作溫度 0° - 65°C (32° - 149°F)
泄漏額定值 1 × 10-9 atm cc/sec of He
結構材料 外殼： 316L 不銹鋼
認證 通過壓力設備指令 (PED) 的 CE 認證
設計符合 ASME® 標準