在氣體面板、氣體柜和晶圓加工需要超純氣體的任何地方進行卓越的微粒過濾。
- 緊湊的裝置減少了氣箱的整體占地面積,節省了寶貴的設備空間
- PTFE膜提供高效過濾,提高產品產量
- 低壓降降低了低蒸氣壓氣體冷凝的風險
- 與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的相容性
- 用于惰性和活性氣體,包括臭氧
- 臭氧應用(氣體)
- 煤氣柜
- 超純氣體系統
- 閥組箱
- 煤氣板
材料 |
濾芯 |
由模制 PFA 結構支撐的疏水性 PTFE 膜 |
住房 |
電拋光 316L 不銹鋼 |
下游清潔度 |
粒子 |
<0.03 個顆粒/升(<1 個顆粒/ft?3) >0.01μm |
揮發物 |
<10 ppb 水分 |
移除等級 |
0.0015 微米 |
? |
表面處理內飾 |
≤10 微英寸 Ra |
? |
氦泄漏等級 |
合格的 |
2 × 10?-10?atm/cc-sec |
已測試 |
1 × 10?-9?atm/cc-sec |
濃度分辨率 |
±0.015 ppm |
運行條件 |
最大入口壓力: |
20.7 兆帕(207 巴;3000 磅/平方英寸)@ 23°C (73°F) |
最大正向壓差: |
0.4 MPa(4 巴;60 psid)@ 23°C(73°F) |
最大壓差: |
0.07 兆帕(0.7 巴;10 磅/平方英寸)@ 23°C (73°F) |
最高工作溫度: |
120°C (248°F) |
顆粒保留 |
大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒 @ 100 slpm(以最具穿透性的顆粒尺寸為參考) |
流量等級 |
參考性能數據 |