640B 絕對壓力控制器是一個獨立的、緊湊的閉環電子壓力控制系統,包含一個 Baratron? 電容壓力計、常閉比例控制閥和閉環控制電子設備。640B 在電氣方面類似于標準 MFC,由 ±15 VDC 供電,電流僅為 200 mA,允許與標準電源和顯示電子設備一起使用。壓力輸出和輸入控制信號為線性 0-5 或 0-10 VDC。兩個帶 LED 狀態指示燈的跳變點用作簡單的開/關過程限制。
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- 集成 Baratron? 電容壓力計技術
- 低壓過程的滿量程范圍低至 10 Torr
- 可與上游或下游控制器應用程序一起使用
- 用于過程限制控制的兩個報警觸發點
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類型
640B 絕壓控制器
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壓力范圍
10、100、1000 mmHg(托)、60、100 psi(滿量程)
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配件類型
4 VCR、8 VCR、0.25 英寸管或表面貼裝
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流速
50、200、1000、5000、10000、20000、50000 sccm(N2 的標稱滿量程流速,入口壓力為 15 psig,出口壓力為大氣壓)
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跳閘點
兩個集電極開路晶體管
額定值:250 mA @ 30 VDC
可調:滿量程的 1 至 100%
遲滯:滿量程的 3%
指示器:啟動時綠色 LED 亮起
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壓力控制精度
滿量程的 ±0.2%
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傳感器超壓限制
45 psia 或 2x 滿量程,以較大者為準
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最大壓差
20,000 和 50,000 sccm 孔口為 30
psi 50 至 10,000 sccm 孔口為 150 psi
(與傳感器超壓限制一致)
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控制方式
下游標準;上游可選
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壓力測量精度
讀數的 ±0.5%(包括線性度、遲滯和可重復性)
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零溫度系數
零位:滿刻度的 ±0.02%/°C
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跨度溫度系數
跨度:讀數的 ±0.04%/°C
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控制范圍
>2 到 100% 的滿量程
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典型響應時間
<1.0 秒(不包括系統時間常數)
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工作溫度
0 - 50°C(32° 至 122°F)
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儲存溫度
-20 至 80°C(-4° 至 176°F)
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外部泄漏完整性
<10?-9?scc/秒 He
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通過關閉的閥門泄漏完整性
彈性體閥:<10?-4?scc/sec He
金屬閥:<1% 滿量程 (N2 @ 1 atm. ΔP)
Kel-F 閥:<0.5% 滿量程 (N2 @ 1 atm. ΔP)
(通過關閉閥門)*
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接液材料
標準:316L SS、316L/VAR SS、鉻鎳鐵合金、鎳
可選:Viton?、Kalrez?、Kel-F?
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所需電源
±15 VDC ±5%,最大 200 mA
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連接器接口
15 針公頭“D”型
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儀表響應時間
<100 毫秒
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射頻干擾靈敏度
SAMA 33.1,1-abc:<滿量程的 0.2%
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輸入輸出信號
0-5 VDC 標準;0-10 VDC 可選
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電纜長度
最大 100 英尺 (30 m)
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重量
2.54 磅。(1.15 公斤)
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方面
1.5 英寸(38.1 毫米)x 4.88 英寸(124 毫米)(4 VCR)x 5.50 英寸(140 毫米)最大
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遵守
CE認證