美國 Parker 派克 8 GVGR-SSLP Parker Veriflo 保留溝槽式墊片
美國 Parker 派克 8 GVGR-SSLP Parker Veriflo 保留溝槽式墊片
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Parker VacuSeal 面密封接頭設(shè)計用于超高純度氣體分配系統(tǒng)。這些配件具有出色的可靠性和泄漏完整性，是清潔度至關(guān)重要的半導體制造應(yīng)用的理想選擇。VacuSeal 金屬墊片端面密封接頭具有極高的泄漏完整性，使其適用于需要超高純度條件的關(guān)鍵應(yīng)用，例如半導體工具連接器，閥歧管盒（VMB）和氣體分配系統(tǒng)。配件具有配合墊圈和環(huán)形設(shè)計，可形成金屬對金屬的密封，并提供從9000 psig的真空無泄漏的服務(wù)。
VacuSeal 接頭的尺寸從1/8到1英寸不等，并提供多種閥體和壓蓋配置。它們在Veriflo專有的Vericlean 低硫316L不銹鋼制成的100級無塵室中制造。標準的5 Ra電拋光潤濕表面光潔度可減少截留面積，同時具有出色的耐腐蝕性。壓蓋可用高純度鎳和HastelloyC-22 制成，以確保在腐蝕性極強的應(yīng)用中的性能和可靠性。
VacuSeal 配件設(shè)計用于與平面和Verfilo的TorqTite自對準端面密封墊片一起使用，該墊片無需安裝工具，并消除了因熱循環(huán)和振動而導致的零件松動。TorqTite 還可以確保密封，即使在損壞的環(huán)形表面上也是如此，并允許施加極高的扭矩而不會損壞密封表面。這與VacuSeal 配件的超高純度結(jié)構(gòu)材料相結(jié)合，可最大程度地減少顆粒的產(chǎn)生，并確保在清潔度至關(guān)重要的晶圓制造過程中的泄漏完整性。
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派克 Veriflo VacuSeal 接頭組件，用于 1/2 英寸接頭的保留凹槽式墊圈，少鍍銀 316L 不銹鋼，0.43 英寸內(nèi)徑 x 0.79 英寸外徑 x 0.06 英寸厚墊片。