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美國 Entegris 應特格 工業級氣體純化器GPUS100FHX04R00CA
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GPUS100FHX04R00CA 是由 Entegris (英特格) 生產的 GateKeeper? GPU 系列 常溫氣體純化器。該產品專為半導體、LED及平板顯示制造等超高純度氣體需求場景設計。?
產品核心規格
型號解析：
GPU 100： 代表該產品的流量規格及外殼尺寸。
HX： 代表所使用的 HX 純化介質。這種介質通常用于純化 H2 (氫氣)、N2 (氮氣)、Ar (氬氣)、He (氦氣) 或其他惰性氣體。
04R： 通常指代接口尺寸為 1/4" VCR 接口。
純化能力： 可將氣體中的雜質（如 H2O、O2、CO、CO2 等）降低至 <100 pptV (萬億分之一) 級別。
過濾精度： 配備集成的 Wafergard? 金屬膜過濾器，過濾精度通常可達 0.0015 μm，有效去除超細微粒。?
主要技術特點
常溫純化： 采用環境溫度純化技術，無需電力或加熱，降低了運行成本并提高了安全性。
高性能過濾： 采用 316L 不銹鋼外殼，具備極低的壓降和優異的密封性（漏率 < 1 x 10?? atm cc/sec）。
超長壽命： 在額定流量和標準雜質濃度下，設計壽命通常為一年，且該系列部分型號支持工廠再生（Regenerable）。?
應用場景
該純化器通常安裝在工藝設備的 使用點 (POU)，用于以下工藝：
光刻 (Photolithography)
外延生長 (Epitaxy)
干法刻蝕 (Dry Etch)
薄膜沉積 (Deposition)?
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GPUS100FHX04R00CA
GPUS100FHX04R01CA
GPUS100FHX04R02CA
GPUS100FHX08R00CA
GPUS100FHX08R01CA
GPUS100FIX04R00CA
GPUS100FIX04R01CA
GPUS100FIX08R00CA
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GPUS200FHX12R00CA
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GPUS100FHX04V00CA
GPUS100FIX04V00CA
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GPUS100FHX04R00CN
GPUS100FIX04R00CN
GPUS200FHX04R00CN
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GPUS100FHX04R00MA
GPUS100FIX04R00MA