美國 Entegris 英特格 Fluorogard? NX過濾器 CTCWT100Q0D
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這些過濾器專為腐蝕性水性化學品和溶劑而設計，為先進的濕法蝕刻和清洗 (WEC) 應用提供了一種經濟高效的替代方案。
保留等級為 10 μm 至 15 nm，可去除各種酸、堿和其他工藝化學品中的顆粒。
只需最短的設置時間，從而降低先進 WEC 工藝的擁有成本
非常適合中高流量延長使用壽命的應用
疏水膜的表面積增大，可提高流速性能并降低壓降，從而在高溫下實現更高的吞吐量和更高的器件產量
PTFE/PFA 氟樹脂材料采用熱粘合 PFA 結構，確保出色的化學相容性，并最大限度地減少可能影響工藝性能的氯化物和金屬萃取物
經濟高效的預濕濾芯過濾器選項可濕潤 0.9% 的 H2O2 ，從而允許在水性化學品中快速啟動并防止酒精與化學品發生相互作用
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Fluorogard? NX 過濾器應用
半導體和顯示器市場應用中的中高流量化學應用
濕法蝕刻和清洗 (WEC) 應用/單程和再循環
大宗化學品制造
散裝化學品輸送系統（BCDS）
腐蝕性水性化學物質
高級溶劑
注意：Fluorogard NX 濾光片不建議用于 SPM、SC1 和 SC2 等高釋氣量解決方案。Entegris 建議在這些應用中使用QuickChange ? NX 濾光片。
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NXT筒式過濾器
墨盒長度?? ?A（總體）?? ?B（對照組）?? ?C（肩部）
4英寸?? ?132.3 毫米（5.21 英寸）?? ?115.0 毫米（4.53 英寸）?? ?113.0 毫米（4.45 英寸）
10英寸?? ?262.3 毫米（10.33 英寸）?? ?245.0 毫米（9.65 英寸）?? ?243.0 毫米（9.57 英寸）
20英寸?? ?498.3 毫米（19.62 英寸）?? ?481.0 毫米（18.94 英寸）?? ?479.0 毫米（18.86 英寸）
30英寸?? ?738.0 毫米（29.06 英寸）?? ?721.0 毫米（28.39 英寸）?? ?719.0 毫米（28.31 英寸）
NXE 筒式過濾器
墨盒長度?? ?A（總體）?? ?B（對照組）?? ?C（肩部）
10英寸?? ?244.0 毫米（9.61 英寸）?? ?227.0 毫米（8.94 英寸）?? ?225.0 毫米（8.86 英寸）
20英寸?? ?471.0 毫米（18.54 英寸）?? ?454.0 毫米（17.87 英寸）?? ?452.0 毫米（17.80 英寸）
30英寸?? ?699.5 毫米（27.54 英寸）?? ?682.0 毫米（26.85 英寸）?? ?681.0 毫米（26.81 英寸）