美國(guó) Entegris 應(yīng)特格 氣體過(guò)濾器 WGMXMPRR2原裝
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這些在線 PTFE 氣體過(guò)濾器與高純度氣體兼容，并在?超純氣體應(yīng)用?以及?一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過(guò)濾。
- PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
- 專為高流量和低壓差應(yīng)用而設(shè)計(jì)?
- 適用于惰性氣體和活性氣體，包括臭氧?
- 預(yù)處理以快速啟動(dòng)（僅限銀色）?
Wafergard? MAX 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器應(yīng)用
與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體兼容
與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容
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產(chǎn)品規(guī)格
材料?? ?濾芯?? ?由模制 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水性 PTFE 膜
??? ?住房?? ?電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度?? ?粒子?? ?小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/立方英尺)大于 0.01 微米
??? ?揮發(fā)物（銀）?? ?<10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（最低檢測(cè)限為 5 ppb）
移除評(píng)級(jí)?? ?≥0.0015微米
內(nèi)部表面處理?? ?WGMX（青銅）MB XXXX?? ?≤20μin Ra
??? ?WGMX（銀/銅加）MS XXX/XXX?? ?≤7μin Ra
氦氣泄漏等級(jí)?? ?合格的?? ?2 x 10 -10大氣壓-立方厘米/秒
??? ?已測(cè)試?? ?1 x 10 -9大氣壓-立方厘米/秒
工作條件
??? ?最大入口壓力
??? ?銀和青銅以及 1?4" 和 1?2" VCR ?兼容配件：7.0 MPa（70 bar，1015 psig）
??? ? ?? ?青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容配件：6.0 MPa（60 bar，870 psig）
??? ? ?? ?青銅和青銅加 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok ?兼容接頭：6.0 MPa（60 bar，870 psig）
??? ?最大正向壓差?? ?7 巴（102 磅/平方英寸）
??? ?最大反向壓差?? ?2.5 巴（36 磅/平方英寸）
??? ?最高工作溫度?? ?120°C（248°F）
流量等級(jí)?? ?參考性能數(shù)據(jù)
保修單?? ?青銅?? ?1 年
??? ?銀?? ?3 年