美國Entegris 應特格 YY5032PS1 過濾器原裝現貨
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Wafergard? SG PA/PAL 氣體過濾器提供微粒過濾，設計流速范圍高達 200 slpm*，可最大限度地提高光伏電池和顯示器制造的產量。PTFE 膜和 PFA 支撐濾芯與工藝氣體**以及惰性氣體和 CDA 應用兼容。
Entegris 為關鍵材料和加工難題提供解決方案，以最大限度地提高高科技生產率并降低生產成本。我們的過濾、凈化和材料完整性管理產品和技術為客戶提供了領先的產品性能。
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材料 濾芯 疏水性 PTFE 膜，由模制 PFA 支撐
O 形圈 PFA O 形圈（僅限 SG PAL）
外殼 電拋光 316L 不銹鋼
顆粒截留率 ≥99.99% (4 LRV)
（以穿透力最強的
穿透力最大的顆粒尺寸）
@ 30 slpm：SG PA
90 slpm：SG PAL
去除率 ≥0.0015 μm
內部表面光潔度 ≤25 μin Ra
氦氣泄漏等級 合格 2 × 10-11 Pa m3
/秒 (2 × 10-10 atm cc/sec)
測試
/每秒 (1 × 10-8 atm cc/sec)
工作條件 最大工作壓力：
20 兆帕（200 巴，2900 psig）@ 23°C (73°F)
最大正向壓差
0.414 兆帕（4.14 巴，60 psid），溫度為 23°C (73°F)
最大反向壓差
0.069 兆帕（0.69 巴，10 psid），工作溫度為 23°C (73°F)
最高工作溫度：
在惰性氣體中為 120°C (248°F)
額定流量 參見性能數據
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