美國 Entegris 應(yīng)特格Wafergard 氣體 過濾器 WG3NS8RR2
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NTEGRIS應(yīng)特格公司成立于1966年，總部設(shè)在美國馬薩諸塞州拜勒瑞卡，在美國、日本和馬業(yè)西亞等國家設(shè)有生產(chǎn)基地，在全球十一個(gè)國家設(shè)有銷售和服務(wù)中心。
應(yīng)特格公司主要服務(wù)于半導(dǎo)體制造業(yè)，是一家材料整合管理公司。作為全球材料整合管理界的先行者，應(yīng)特格為半導(dǎo)體制造提供包括純化過濾、流體傳送、芯片及其他關(guān)鍵材料的保護(hù)和傳送等方面的產(chǎn)品及服務(wù)。應(yīng)特格公司以其高性能的產(chǎn)品及技術(shù)成為世界半導(dǎo)體廠商、設(shè)備制造商及材料供應(yīng)商長期合作伙伴。
應(yīng)特格公司憑借著在材料科學(xué)及分子污染控制領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢，幫助客戶提高技術(shù)水平及產(chǎn)品成品率，包括半導(dǎo)體制造工藝中的光刻、濕法蝕刻、化學(xué)機(jī)械研磨、化學(xué)氣相沉積、晶片處理與貯運(yùn)、測試及封裝等。
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液體光化學(xué)過濾器專為使用點(diǎn) (PoU) 光刻工藝中的去離子水應(yīng)用而設(shè)計(jì)。小巧的膠囊外形和干凈的膜/支撐/外殼材料可在 > 28 nm 節(jié)點(diǎn)應(yīng)用中提供高純度污染物去除性能。
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為超純氣體系統(tǒng)過濾提供卓越的顆粒過濾，是高溫和動(dòng)壓應(yīng)用的理想選擇。
最先進(jìn)的外殼組件通過最小化焊接面積來消除排氣
全金屬結(jié)構(gòu)非常適合高溫和動(dòng)壓應(yīng)用
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了極致的設(shè)計(jì)效率并最大限度地降低了工程成本
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應(yīng)用
Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫應(yīng)用
新工廠建設(shè)
動(dòng)壓應(yīng)用
惰性氣體和活性氣體
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產(chǎn)品規(guī)格
材料?? ?濾芯?? ?燒結(jié)鎳膜過濾器
??? ?住房?? ?電拋光 VAR316L 不銹鋼外殼
下游清潔度?? ?粒子?? ?<0.03 顆粒/升 (<1 顆粒/立方英尺) >0.01 微米?? ?
??? ?揮發(fā)物?? ?H2O、O2和THC的揮發(fā)性釋氣量低于可檢測限（室溫下通過 RGA 和 FID 測定）
移除評級?? ?≥0.0015微米
內(nèi)部表面光潔度?? ?≤5μin Ra
氦氣泄漏等級?? ?合格的?? ?2×10 -10大氣壓-立方厘米/秒
??? ?已測試?? ?1×10 -9個(gè)大氣壓-立方厘米/秒。
最高工作條件：?? ?最大入口壓力?? ?20°C (68oF) 時(shí)為 20 MPa (200 bar, 2900 psid)
??? ?設(shè)計(jì)壓力?? ?20°C (68oF) 時(shí)為 20 MPa (200 bar, 2900 psid)
??? ?最大正向/反向壓差?? ?1 兆帕（10 巴，150 磅/平方英寸）
??? ?最高工作溫度?? ?惰性氣體?? ?400°C (725°F) @ 35 巴 (500 psi)
??? ? ?? ?腐蝕性和活性氣體?? ?50°C (122°F) @ 70 巴 (1000 psi)
保修單?? ?5 年
顆粒保留?? ?在 15 slpm 下，可去除所有顆粒物 99.9999999% (9 LRV) 以上
流量等級?? ?參考性能數(shù)據(jù)