Wafergard? MAX 內聯式?PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應用 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應用中表現出色?
專為高流量和低壓差應用而設計?
適用于惰性氣體和活性氣體，包括臭氧?
預處理以快速啟動（僅限銀色）?
?
為超純氣體系統提供卓越的惰性氣體和活性氣體顆粒過濾。
- 最清潔、最高效的全金屬過濾器
- 獲得專利的鎳濾膜具有出色的耐腐蝕性以及與惰性氣體和活性氣體的出色兼容性*
- 最先進的外殼組件通過最小化焊接面積來消除排氣
- 全金屬結構非常適合高溫和動態壓力應用
- 緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提高了設計效率并最大限度地降低了工程成本
*不建議與 CO、O 3和低濃度氫化物摻雜氣體一起使用。
?
Wafergard? III NF 微型直列式氣體過濾器應用
超純氣體管線
高溫應用
新工廠建設
動壓應用
惰性氣體和活性氣體
?
材料?? ?濾芯?? ?獲得專利的燒結鎳膜過濾器
??? ?住房?? ?電拋光 VAR 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度?? ?顆粒*?? ?小于 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/立方英尺)大于 0.01 微米
??? ?易揮發的**?? ?H2O、O2和THC的揮發性釋氣量低于可檢測限（室溫下通過 RGA 和 FID 測定）
移除評級?? ?≥0.0015微米
內部表面處理?? ?≤5μin Ra
氦氣泄漏等級?? ?合格的?? ?2x10 -10 ?atm 立方厘米/秒。
??? ?已測試?? ?1x10 -9 ?atm 立方厘米/秒。
工作條件?? ?最大允許工作壓力（設計壓力）：207 bar (3000 psi) @ 100°C (212°F)
??? ?最大正向/反向壓差：35 bar (500 psid)
??? ?最高工作溫度：惰性氣體 400°C (752°F) @ 35 bar (500 psi)；腐蝕性和活性氣體：50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
保修單?? ?5 年
顆粒保留?? ?去除所有顆粒的效率大于 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力的顆粒大小為參考）
流量等級?? ?參考性能數據
?
零件編號?? ?配件尺寸和類型?? ?長度
WG3NS5RR2?? ?1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/出口?? ?84.1 毫米 (3.31")
WG3NSMFF2?? ?1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）母入口/出口?? ?58.4 毫米 (2.30")
WG3NSMFR2?? ?1/4" 極化墊圈密封（兼容 VCR 接頭）母入口/公出口?? ?71.1 毫米 (2.80")
WG3NSMJJ2?? ?1/4" 對接焊入口/出口?? ?28.4 毫米 (1.12")
WG3NSMSL2?? ?1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/出口?? ?50.8 毫米 (2.00")