美國 Entegris 應特格 過濾器 精密現貨 WG2FT1RR2
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這些氣體過濾器適用于惰性氣體和活性氣體，與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹窄的氣體面板和機柜中。?
PTFE 膜提供高效過濾
低壓降降低了低蒸氣壓氣體凝結的風險
與各類半導體工藝氣體具有出色的兼容性
適用于惰性氣體和活性氣體，包括臭氧
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材料
??? ?濾芯
??? ?由模制 PFA 結構支撐的疏水性 PTFE 膜
住房?? ?電拋光 VAR 316L 不銹鋼
下游清潔度 ?? ?少于 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/立方英尺)大于 0.01 微米?
揮發物?? ?水分含量<10 ppb
移除評級?? ?≥0.0015微米?? ?
內部表面處理?? ?≤7 微英寸 Ra?? ?
氦氣泄漏等級?? ?合格的?? ?2 × 10 -10立方厘米/秒
已測試?? ?1 × 10 -9立方厘米/秒
運行條件?? ?最大入口壓力?? ?207 巴 (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向壓差?? ?4 巴（60 psid）@ 23°C（73°F）
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最大反向壓差?? ?0.07 兆帕（0.7 巴，10 磅/平方英寸）@ 23°C（73°F）
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最高工作溫度?? ?120°C（248°F）
顆粒保留
??? ?去除率大于 99.9999999% (9 LRV) 的所有顆粒 @ 30 slpm（參考最具穿透力的顆粒尺寸）
流量等級?? ?參考性能數據?? ?
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WG2FT1BW2
WG2FT1RF2
WG2FT1RR2
WG2FT1RR2L
WG2FT1SS2
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