美國(guó) Entegris 應(yīng)特格 純化器 GPUS2500FIX08R00CA 原裝現(xiàn)貨
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Entegris 的 GateKeeper? GPU 氣體純化器旨在提高對(duì)高純度氣體要求*高的微電子應(yīng)用中的純度一致性、使用壽命和最終純度。
利用我們?cè)诓牧峡茖W(xué)方面的專業(yè)知識(shí)，我們開發(fā)出了新一代 YX 氣體凈化產(chǎn)品，具有無**比的價(jià)值和性能。
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應(yīng)用
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- 半導(dǎo)體
- 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
- 平板顯示器
- 發(fā)光二極管
- 太陽能
特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)
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過程控制和保護(hù) 純度控制在低于十億分之一 (ppb) 的水平
通過凈化器的壓降低
通過壓力設(shè)備指令 (PED) 的 CE 認(rèn)證
在 ISO? 9001:2015 工廠制造
成本效益高 可再生資源 - 消除了處理問題和成本
使用壽命長(zhǎng) - 降低擁有成本
使用安全簡(jiǎn)單 使用環(huán)境溫度凈化 - 無需加熱或供電
無需加熱或供電
對(duì)方向（水平/垂直）不敏感
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凈化氣體 NH3、C2H4、GeH4、CSiH6
C2H7N、C3H6、SF6、H2/SiH4 混合物
C2H8N2、CH3SiH3、SiH4、
去除雜質(zhì) 出口純度
H2O <1 ppb
O2 <1 ppb
CO2 <1 ppb
有機(jī)物 >C4 <1 ppb
金屬 <1 ppb
出口顆粒過濾器 Wafergard? - 316 不銹鋼膜，20 μm 或 0.0015 μm
使用壽命 在入口濕度為 0.5 ppm 的情況下，使用壽命為一年。
如下頁所示。
壽命隨入口雜質(zhì)和流速而變化。
有關(guān)具體應(yīng)用的壽命計(jì)算，請(qǐng)聯(lián)系 Entegris。
可再生 是
(如果工藝氣體為 SF6，則不建議再生）
危險(xiǎn)品 (DG) 是，UN2881，4.2 類
工作溫度 0° - 65°C (32° - 149°F)
泄漏額定值 1 × 10-9 atm cc/sec of He
結(jié)構(gòu)材料 外殼： 316L 不銹鋼
認(rèn)證 通過壓力設(shè)備指令 (PED) 的 CE 認(rèn)證
設(shè)計(jì)符合 ASME? 標(biāo)準(zhǔn)