美國Entegris 應特格 WG2FT1RR2 過濾器現貨
?
這些氣體過濾器推薦用于惰性和反應性氣體，與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹窄的氣體面板和柜中。?
PTFE 膜提供高效過濾
低壓降降低了較低蒸氣壓氣體的冷凝風險
與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性
適用于惰性氣體和反應性氣體，包括臭氧
?
應用領域
Wafergard? II F 微型在線氣體過濾器應用
生命科學應用
臭氧應用（氣體）
煤氣柜和面板
超純氣體系統
內部處理工具
?
材料
??? ?濾芯
??? ?由模制 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房?? ?電解拋光 VAR 316L 不銹鋼
下游清潔度 ?? ?小于 0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3）大于 0.01 μm?
揮發物?? ?<10 ppb 水分
去除等級?? ?≥0.0015微米?? ?
內部表面處理?? ?≤7 μin Ra?? ?
氦氣泄漏等級?? ?合格的?? ?2×10 -10立方厘米/秒
已測試?? ?1×10 -9立方厘米/秒
運行條件?? ?最大入口壓力?? ?207 巴 (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大前向壓差?? ?4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
?
最大反向壓差?? ?0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
?
最高工作溫度?? ?120°C (248°F)
顆粒保留
??? ?在 30 slpm 下去除所有顆粒的率大于 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力的顆粒尺寸為準）
流量等級?? ?參考性能數據