美國 Entegris 英特格 直通式氣體過濾器 WG3NS8RR2 全新
美國 Entegris 英特格 直通式氣體過濾器 WG3NS8RR2 全新
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為超純氣體系統過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和動態壓力應用的理想選擇。
- 最先進的外殼組件通過最小化焊接區域來消除除氣
- 全金屬結構是高溫和動態壓力應用的理想選擇
- 緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設計效率并最大限度地降低了工程成本
| 材料 |
濾芯 |
燒結鎳膜過濾器 |
| ? |
住房 |
電拋光 VAR316L 不銹鋼外殼 |
| 下游清潔度 |
粒子 |
<0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft?3） >0.01 μm |
| ? |
揮發物 |
H?2?O、O?2和 THC 的揮發性脫氣低于檢測限（在室溫下通過 RGA 和 FID） |
| 移除等級 |
≥0.0015 微米 |
| 表面飾面內飾 |
≤5μin Ra |
| 氦泄漏等級 |
合格的 |
2 × 10?-10?atm-cc/秒。 |
| ? |
已測試 |
1 × 10?-9?atm-cc/秒。 |
| 最大操作條件： |
最大入口壓力 |
20°C (68oF) 時為 20 MPa（200 bar，2900 psid） |
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設計壓力 |
20°C (68oF) 時為 20 MPa（200 bar，2900 psid） |
| ? |
最大正向/反向壓差 |
1 兆帕（10 巴，150 磅/平方英寸） |
| ? |
最高工作溫度 |
惰性氣體 |
400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi) |
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? |
腐蝕性和反應性氣體 |
50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi) |
| 保修單 |
5年 |
| 顆粒保留 |
在 15 slpm 時去除所有顆粒大于 99.9999999% (9 LRV) |
| 流量等級 |
參考性能數據 |